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先进的工作原理图1硅谐振梁的结构采用微电子加工技术（MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺寸、材质完全一致的Ｈ形状的谐振梁，谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡（如图1）。单晶硅片的上下表面受到的压力不等时，将产生形变，导致中心谐振 ...
2000系列 Magnehelic?微差压表有81种量程范围可供选择，为2%。采用了无磨损的机芯，结构简单可靠，可快速灵敏地指示气体的微小正压，负压或差压，它还具备防震和过压保护的功能。Magneh... ...